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華為新增多項芯片制造設備及方法專利

來源：華為芯片| 發布日期：2023-12-15 11:17

近期，華為即日新增多個專利，包括一項名為“晶圓處理裝置及方法”的專利，其公開號為CN117219552A。

據這份專利陳述，其主題是關于晶圓處理設備及其操作方式。該設備包含晶圓載臺，其可沿旋轉軸線上進行轉動；還有機械臂，其設有抓取晶圓的手部；此外還有一個控制器；最后，還有一個校準組件，由光柵板、固定置于其旁的光源以及安裝在機械臂上的攝像元件組成，它們可以接收透過光柵板的光。控制器則根據攝像元件對接收到光線的解析來指導操作，以調整晶圓姿態。同時，在設備承接晶圓時，光柵板與攝像元件分別處于晶圓載臺的兩個相對面上，用于承載和定位晶圓。這項發明能大幅提升晶圓對齊的整體效果及精度。

到了2022年末，華為累計持有的有效授權專利超出十二萬份之多，專利范圍覆蓋全球各地，尤其集中在中國、歐洲、美洲、亞太、中東甚至非洲等地。其中，其中在中國和歐洲都擁有四萬余件專利，而在美國也有高達兩萬二千多件專利。