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2024年光刻膠市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)25.7億美元，EUV和KrF增速最快
電子材料市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)TECHCET最新數(shù)據(jù)顯示，光刻膠市場(chǎng)預(yù)計(jì)將在2024年反彈，同比增長(zhǎng)7%，市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到25.7億美元；2022-2027年間復(fù)合年增長(zhǎng)率為4.1%。
TECHCET指出，受先進(jìn)邏輯工藝與存儲(chǔ)器等新技術(shù)驅(qū)動(dòng)，增長(zhǎng)最快的細(xì)分領(lǐng)域?yàn)镋UV和KrF光刻膠。此外，用于成熟制程（如i、g和KrF/248nm）的光刻膠材料也將繼續(xù)推動(dòng)市場(chǎng)增長(zhǎng)。隨著三星、臺(tái)積電和英特爾等公司的部分工藝制程從ArF和ArFi轉(zhuǎn)向ArFi和EUV組合，預(yù)計(jì)美光和SK海力士也將緊隨其后，EUV光刻膠產(chǎn)量不斷爬升。
負(fù)性EUV光刻膠的使用增加也在推動(dòng)新的變化，例如負(fù)性溶劑的開(kāi)發(fā)，以及光刻膠涂布之前的晶圓預(yù)濕潤(rùn)等等，同時(shí)這類(lèi)光刻膠的增長(zhǎng)預(yù)計(jì)將會(huì)減少水溶液顯影劑和邊膠清洗的使用。
晶圓廠擴(kuò)建和日韓貿(mào)易糾紛的引起的出口限制也促進(jìn)了一些小型光刻膠廠商在當(dāng)?shù)厥袌?chǎng)站穩(wěn)腳跟。例如日本對(duì)韓國(guó)的光刻膠出口限制（雖已取消），以及中國(guó)為了把控地緣政治引發(fā)的斷供風(fēng)險(xiǎn)而推進(jìn)國(guó)產(chǎn)化等因素，都推動(dòng)了中國(guó)大陸和臺(tái)灣，以及韓國(guó)當(dāng)?shù)夭牧瞎?yīng)商的本土化進(jìn)程。
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武漢芯源CW32L083如何實(shí)現(xiàn)AUTOTRIM時(shí)鐘校準(zhǔn)？
MCU中的HSIOSC和LSI時(shí)鐘信號(hào)是通過(guò)內(nèi)部RC振蕩器產(chǎn)生的，該時(shí)鐘信號(hào)可能會(huì)受到外界因素比如溫度等的影響，使其頻率在一定范圍內(nèi)產(chǎn)生誤差。CW32L083可以通過(guò)AUTOTRIM的時(shí)鐘校準(zhǔn)定時(shí)器模式來(lái)對(duì)LSI和HSIOSC進(jìn)行自動(dòng)實(shí)時(shí)時(shí)鐘校準(zhǔn)，獲得精度更高的時(shí)鐘信號(hào)。HSIOSC時(shí)鐘校準(zhǔn)模式設(shè)置 AUTOTRIM_CR.MD 為 0x00，使定時(shí)器工作于 HSIOSC 校準(zhǔn)模式。該模式支持自動(dòng)實(shí)時(shí)校準(zhǔn)HSIOSC的輸出頻率，使 HSIOSC 輸出頻率的精度不再受環(huán)境變化影響。HSIOSC 時(shí)鐘校準(zhǔn)，需要向定時(shí)器提供一個(gè)精準(zhǔn)的低頻參考時(shí)鐘，其來(lái)源可以是 LSE 或外部 ETR 引腳輸入的低速精準(zhǔn)時(shí)鐘信號(hào)，通過(guò)控制寄存器 AUTOTRIM_CR 的 SRC 位域進(jìn)行選擇。HSIOSC 校準(zhǔn)模式的功能框圖如下圖所示：設(shè)置 AUTOTRIM_CR.AUTO 為 1 使能自動(dòng)校準(zhǔn)，設(shè)置 AUTOTRIM_CR.EN 為1 使能定時(shí)器，開(kāi)始自動(dòng)校準(zhǔn)流程。自動(dòng)校準(zhǔn)開(kāi)始工作后，計(jì)數(shù)值寄存器AUTOTRIM_CNT 在每個(gè) GCLK 時(shí)鐘周期內(nèi)對(duì) HSIOSC 時(shí)鐘 TCLK 從重載值 ARR 開(kāi)始遞減計(jì)數(shù)，計(jì)數(shù)到 0 后開(kāi)始遞增計(jì)數(shù)。當(dāng)計(jì)數(shù)器已運(yùn)行 1.5 倍 ARR 周期，計(jì)數(shù)器停止運(yùn)行，同時(shí) AUTOTRIM_ISR.MISS 標(biāo)志位被硬件置 1，表示計(jì)數(shù)失敗。每當(dāng) GCLK 時(shí)鐘上升沿到達(dá)時(shí)，計(jì)數(shù)器重新開(kāi)始從 ARR 遞減計(jì)數(shù)。如果 GCLK 時(shí)鐘周期內(nèi)，計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)值大于誤差允許值 AUTOTRIM_FLIM，寄存器TrimCode 會(huì)自動(dòng)調(diào)整，直到計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)值小于誤差允許值 AUTOTRIM_FLIM，同時(shí) AUTOTRIM_ISR.OK 標(biāo)志位會(huì)被硬件置 1，表示校準(zhǔn)精度已達(dá)標(biāo)，此時(shí)可讀取 TrimCode 寄存器并寫(xiě)入 SYSCTRL_HSI.TRIM，以校準(zhǔn) HSIOSC 時(shí)鐘頻率。TrimCode 寄存器最大可調(diào)整為 0x1FF，故 TrimCode 值寫(xiě)入 SYSCTRL_HSI.TRIM 時(shí)，需根據(jù) TRIM 位域的初始校 準(zhǔn)值寫(xiě)入最高 2bit。代碼示例如下：CW_SYSCTRL->HSI = (CW_SYSCTRL->HSI 0xFE00) | CW_AUTOTRIM->TVAL;誤差允許值 FLIM 在設(shè)置重載值 ARR 時(shí)自動(dòng)配置，校準(zhǔn)精度為 0.4%，用戶不可寫(xiě)入。重載寄存器 AUTOTRIM_ARR 設(shè)置公式如下：ARR = TCLK×2PRS/RCLK-1其中，RCLK 為參考時(shí)鐘源，PRS 為預(yù)分頻系數(shù)，TCLK 為計(jì)數(shù)時(shí)鐘源 HSIOSC 時(shí)鐘，這一部分是需要我們?nèi)ヅ渲玫摹＠寒?dāng)參考時(shí)鐘源 RCLK 為 LSE（時(shí)鐘頻率為 32768Hz），預(yù)分頻系數(shù) PRS 為 0x1 時(shí)，校準(zhǔn) HSIOSC 時(shí)鐘頻率為 48MHz，計(jì)算ARR = 48000000×21 /32768-1 = 2928.6875最接近的整數(shù)是：2929（0xB71）即需要設(shè)置 AUTOTRIM_ARR 為 0xB71。HSIOSC時(shí)鐘校準(zhǔn)編程示例通過(guò)上節(jié)的模式設(shè)置介紹我們可以根據(jù)其配置AUTOTRIM的HSIOSC的實(shí)時(shí)時(shí)鐘校準(zhǔn)模式,HSIOSC 時(shí)鐘校準(zhǔn)流程如下，當(dāng)選擇參考時(shí)鐘源為 LSE 時(shí)，步驟 1 和步驟 2 不需要執(zhí)行：步驟 1：設(shè)置外設(shè)時(shí)鐘使能控制寄存器 SYSCTRL_AHBEN 的相關(guān)位為 1，使能AUTOTRIM_ETR 對(duì)應(yīng) GPIO 端口的配置時(shí)鐘及工作時(shí)鐘；步驟 2：設(shè)置 GPIO 復(fù)用功能寄存器 GPIOx_AFRH 和 GPIOx_AFRL 的相關(guān)位，配置對(duì)應(yīng)引腳為 AUTOTRIM 定時(shí)器的 AUTOTRIM_ETR 功能；步驟 3：設(shè)置外設(shè)時(shí)鐘使能控制寄存器 SYSCTRL_APBEN2.AUTOTRIM 為 1，打開(kāi) AUTOTRIM 模塊的配置時(shí)鐘；步驟 4：設(shè)置 AUTOTRIM_CR.MD 為 0x00，使定時(shí)器工作于 HSIOSC 時(shí)鐘校準(zhǔn)模式；步驟 5：配置控制寄存器 AUTOTRIM_CR.OST，選擇實(shí)時(shí)校準(zhǔn)模式或單次校準(zhǔn)模式；步驟 6：配置控制寄存器 AUTOTRIM_CR.SRC，選擇 AUTOTRIM 參考時(shí)鐘源為L(zhǎng)SE；步驟 7：配置控制寄存器 AUTOTRIM_CR.PRS，選擇 AUTOTRIM 參考時(shí)鐘分頻系數(shù)；步驟 8：根據(jù)上節(jié)HSIOSC時(shí)鐘校準(zhǔn)模式ARR 配置公式，設(shè)置重載值寄存器 AUTOTRIM_ARR，自動(dòng)配置 校準(zhǔn)精度為 0.4%；步驟 9：設(shè)置 AUTOTRIM_CR.AUTO 為 1，使能自動(dòng)校準(zhǔn)；步驟 10：設(shè)置 AUTOTRIM_CR.EN 為 1，使能定時(shí)器，開(kāi)始自動(dòng)校準(zhǔn)；步驟 11：查詢等待 AUTOTRIM_ISR.END 和 AUTOTRIM_ISR.OK 標(biāo)志位置 1，自動(dòng)校準(zhǔn)完成且精度達(dá)標(biāo)；步驟 12：讀取 TrimCode 寄存器，并將 TrimCode 值寫(xiě)入 SYSCTRL_HSI.TRIM。代碼示例：CW_SYSCTRL->HSI = (CW_SYSCTRL->HSI 0xFE00) | CW_AUTOTRIM->TVAL;具體的寄存器配置可以參考CW32L083用戶手冊(cè)的時(shí)鐘校準(zhǔn)定時(shí)器（AUTOTRIM）章節(jié)。在上述的一系列校準(zhǔn)步驟配置完之后，我們就可以通過(guò)示波器或者萬(wàn)用表來(lái)讀取開(kāi)發(fā)板的HSIOSC的頻率輸出，會(huì)發(fā)現(xiàn)在不同的溫度影響下，MCU會(huì)自動(dòng)校準(zhǔn)HSIOSC的時(shí)鐘頻率。通過(guò)對(duì)比會(huì)發(fā)現(xiàn)，用AUTOTRIM自動(dòng)校準(zhǔn)模式之后的HSIOSC會(huì)比沒(méi)有用AUTOTRIM的HSIOSC的精度更高，誤差更小。LSI時(shí)鐘校準(zhǔn)設(shè)置 AUTOTRIM_CR.MD 為 0x01，使定時(shí)器工作于 LSI 校準(zhǔn)模式。該模式支持自動(dòng)實(shí)時(shí)校準(zhǔn) LSI 的輸出頻率，使 LSI 輸出頻率的精度不再受環(huán)境變化影響。LSI 時(shí)鐘校準(zhǔn)，需要向定時(shí)器提供一個(gè)精準(zhǔn)的高頻計(jì)數(shù)時(shí)鐘，其來(lái)源可以是 HSE 或外部 ETR 引腳輸入的高速精準(zhǔn)時(shí)鐘信號(hào)，通過(guò)控制寄存器 AUTOTRIM_CR 的 SRC 位域進(jìn)行選擇。LSI校準(zhǔn)模式的功能框圖如下圖所示：設(shè)置 AUTOTRIM_CR.AUTO 為 1 使能自動(dòng)校準(zhǔn)，設(shè)置 AUTOTRIM_CR.EN 為 1 使能定時(shí)器，開(kāi)始自動(dòng)校準(zhǔn)流程。自動(dòng)校準(zhǔn)開(kāi)始工作后，計(jì)數(shù)值寄存器 AUTOTRIM_CNT 在每個(gè) GCLK 時(shí)鐘周期內(nèi)對(duì)計(jì)數(shù)時(shí)鐘 TCLK 從重載值 ARR 開(kāi)始遞減計(jì)數(shù)，計(jì)數(shù)到0后開(kāi)始遞增計(jì)數(shù)。當(dāng)計(jì)數(shù)器已運(yùn)行1.5倍ARR 周期，計(jì)數(shù)器停止運(yùn)行，同時(shí) AUTOTRIM_ISR.MISS 標(biāo)志位被硬件置1，表示計(jì)數(shù)失敗。每當(dāng) GCLK 時(shí)鐘上升沿到達(dá)時(shí)，計(jì)數(shù)器重新開(kāi)始從 ARR 遞減計(jì)數(shù)。如果 GCLK 時(shí)鐘周期內(nèi)，計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)值大于誤差允許值 AUTOTRIM_FLIM，則寄存器TrimCode會(huì)自動(dòng)調(diào)整，直到計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)值小于誤差允許值 AUTOTRIM_FLIM，同時(shí) AUTOTRIM_ISR.OK 標(biāo)志位會(huì)被硬件置 1，表示校準(zhǔn)精度 已達(dá)標(biāo)，此時(shí)可讀取 TrimCode 寄存器并寫(xiě)入 SYSCTRL_LSI.TRIM，以校準(zhǔn) LSI 時(shí)鐘頻率。具體的代碼配置可以參考下節(jié)的步驟12的代碼示例。TrimCode 寄存器最大可調(diào)整為0x1FF，故 TrimCode 值寫(xiě)入 SYSCTRL_LSI.TRIM 時(shí)，需根據(jù) TRIM 位域的初始校 準(zhǔn)值寫(xiě)入最高 1bit。代碼示例如下：CW_SYSCTRL->LSI = (CW_SYSCTRL->LSI 0xFE00) | CW_AUTOTRIM->TVAL;誤差允許值 FLIM 在設(shè)置重載值 ARR 時(shí)自動(dòng)配置，校準(zhǔn)精度為 0.4%，用戶不可寫(xiě)入。重載寄存器 AUTOTRIM_ARR 設(shè)置公式如下：ARR = TCLK×2PRS/RCLK-1其中，RCLK 為 LSI 時(shí)鐘，PRS 為預(yù)分頻系數(shù)，TCLK 為計(jì)數(shù)時(shí)鐘源。例：當(dāng)計(jì)數(shù)時(shí)鐘源 TCLK 為 HSE（時(shí)鐘頻率為 16MHz），預(yù)分頻系數(shù) PRS 為 0x1 時(shí)，校準(zhǔn) LSI 時(shí)鐘頻率為 32kHz，計(jì)算ARR = 16000000×21 /32000-1 = 999即需要設(shè)置 AUTOTRIM_ARR 為 0x3E7。LSI時(shí)鐘校準(zhǔn)編程示例通過(guò)上節(jié)的模式設(shè)置介紹我們可以根據(jù)其配置AUTOTRIM的LSI的實(shí)時(shí)時(shí)鐘校準(zhǔn)模式,LSI 時(shí)鐘校準(zhǔn)流程如下，當(dāng)選擇計(jì)數(shù)時(shí)鐘源為 HSE 時(shí)，步驟 1 和步驟 2 不需要執(zhí)行：步驟 1：設(shè)置外設(shè)時(shí)鐘使能控制寄存器 SYSCTRL_AHBEN 的相關(guān)位為 1，使能 AUTOTRIM_ETR 對(duì)應(yīng) GPIO 端口的 配置時(shí)鐘及工作時(shí)鐘；步驟 2：設(shè)置 GPIO 復(fù)用功能寄存器 GPIOx_AFRH 和 GPIOx_AFRL 的相關(guān)位，配置對(duì)應(yīng)引腳為 AUTOTRIM 定時(shí)器 的 AUTOTRIM_ETR 功能；步驟 3：設(shè)置外設(shè)時(shí)鐘使能控制寄存器 SYSCTRL_APBEN2.AUTOTRIM 為 1，打開(kāi) AUTOTRIM 模塊的配置時(shí)鐘；步驟 4：設(shè)置 AUTOTRIM_CR.MD 為 0x01，使定時(shí)器工作于 LSI 時(shí)鐘校準(zhǔn)模式；步驟 5：配置控制寄存器 AUTOTRIM_CR.OST，選擇實(shí)時(shí)校準(zhǔn)模式或單次校準(zhǔn)模式；步驟 6：配置控制寄存器 AUTOTRIM_CR.SRC，選擇 AUTOTRIM 計(jì)數(shù)時(shí)鐘源HSE；步驟 7：配置控制寄存器 AUTOTRIM_CR.PRS，選擇 AUTOTRIM 參考時(shí)鐘分頻系數(shù)；步驟 8：根據(jù) 11.3.3 LSI 時(shí)鐘校準(zhǔn)小節(jié) ARR 配置公式，設(shè)置重載值寄存器 AUTOTRIM_ARR，自動(dòng)配置校準(zhǔn)精度 為 0.4%；步驟 9：設(shè)置 AUTOTRIM_CR.AUTO 為 1，使能自動(dòng)校準(zhǔn)；步驟 10：設(shè)置 AUTOTRIM_CR.EN 為 1，使能定時(shí)器，開(kāi)始自動(dòng)校準(zhǔn)；步驟 11：查詢等待 AUTOTRIM_ISR.END 和 AUTOTRIM_ISR.OK 標(biāo)志位置 1，自動(dòng)校準(zhǔn)完成且精度達(dá)標(biāo)；步驟 12：讀取 TrimCode 寄存器，并將 TrimCode 值寫(xiě)入 SYSCTRL_LSI.TRIM。代碼示例：CW_SYSCTRL->LSI = (CW_SYSCTRL->LSI 0xFE00) | CW_AUTOTRIM->TVAL
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XCZU4CG-1FBVB900I是賽靈思Xilinx的Zynq UltraScale+ MPSoC系列產(chǎn)品之一，具有以下技術(shù)參數(shù)和應(yīng)用。技術(shù)參數(shù)：– 器件類(lèi)型：Zynq UltraScale+ MPSoC– 器件系列：XCZU4CG– 封裝：FCBGA-900– 處理器核心：Quad-core ARM Cortex-A53– 處理器頻率：最高1.5 GHz– FPGA邏輯單元數(shù)：最高192K– 存儲(chǔ)器容量：最高4 GB DDR4– 通信接口：Gigabit Ethernet、USB 3.0、PCIe Gen2/3、DisplayPort、HDMI等應(yīng)用：– 視頻處理：XCZU4CG-1FBVB900I可用于視頻編解碼、圖像處理、視頻分析等應(yīng)用。– 工業(yè)控制：XCZU4CG-1FBVB900I可用于工業(yè)自動(dòng)化、機(jī)器人控制、智能制造等應(yīng)用。– 通信網(wǎng)絡(luò)：XCZU4CG-1FBVB900I可用于5G通信、物聯(lián)網(wǎng)、網(wǎng)絡(luò)安全等應(yīng)用。– 汽車(chē)電子：XCZU4CG-1FBVB900I可用于汽車(chē)電子、自動(dòng)駕駛、車(chē)聯(lián)網(wǎng)等應(yīng)用。
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